SF6 ehk väävelheksafluoriid on kuivsöövitamisel tavaliselt kasutatav gaas, mida kasutatakse peamiselt räni söövitamiseks pooljuhtide tootmisprotsessis. SF6 gaasil on oktaeedriline struktuur, mis koosneb tsentraalsest väävliaatomist, mida ümbritseb kuus fluoriaatomit. Selle mittepolaarsed omadused muudavad selle kõrgepingeseadmetes isoleerivaks gaasiks. SF6 füüsikaliste omaduste hulka kuuluvad värvitu, lõhnatu, mittesüttiv, mittetoksiline, isoleeriv, õhust raskem, jahutusvõime, kõrge dielektriline tugevus, termiline stabiilsus ja halb lahustuvus vees, kuid lahustub mittepolaarsetes orgaanilistes lahustites.
Keemiliste omaduste osas reageerib SF6 teiste ainetega toatemperatuuril vaevalt, kuid laguneb tugeva ultraviolettvalguse korral.
SF6 toodab tavaliselt tööstus ja selle sisu on väga väike. SF6 tootmise reaktsioonivõrrand on:
2 CoF3 + SF4 + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
Kui SF4, CoF3 ja Br2 segatakse kokku ja kuumutatakse 100 kraadini, toimub nende vahel reaktsioon. Selles reaktsioonis reageerib osa SF4-st ja CoF3-st, tekitades SF6 ja CoF2. Broomi reaktsioonis ei kulutata, see toimib ainult katalüsaatorina.
Kas SF6 on ohtlik?
Kuigi SF6 on puhtal kujul mittetoksiline, tõrjub see õhust välja hapniku ja suurem kui 19% mahusisaldus õhus põhjustab lämbumist. Seetõttu on väga oluline tuvastada SF6 lekked õigeaegselt ja võtta pooljuhtide tootmisprotsessis asjakohaseid ennetusmeetmeid.
SF6 kasutamine pooljuhtide tööstuses
SF6 kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmises. Räni söövitamise protsessis kasutatakse peamise söövitusgaasina SF6, mis töötab koos tekkivate lenduvate gaasidega SF4 ja C4F8, et saavutada räni sügav söövitus. Lisaks kasutatakse SF6 sageli Mo- ja W-metallide kuivsöövitamiseks, reageerides nende metallidega, tekitades lenduvaid heksafluoriide MoF6 ja WF6. Kuigi SF6 ei ole eelistatud gaas alumiiniumi söövitamiseks, saab seda kasutada lisagaasina, et suurendada alumiiniumi söövituskiirust, kui see on segatud gaasidega nagu Cl2.
Räni söövitus
Räni söövitusetapis on söövitatud ainult allosas, kus passiivse kile on eemaldatud. Tutvustatakse SF6 gaasi ja SF6 dissotsieerub plasmas mitmesuguste lagunemisproduktide, sealhulgas väga aktiivsete fluori aatomite (F) genereerimiseks.
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Genereeritud fluori aatomid reageerivad räni pinnaga, et genereerida räni tetrafluoriidi (SIF4), lenduvat ühendit, mis on kambrist hõlpsasti tühjendatav.
Si+4F-->SiF4
Alumise passiveerimiskihi söövitus
Selles etapis moodustub nii külgsein kui ka põhjas passivatsioonikiht. Siiski tahame ainult passiivsuskihti hoida külgseinal, et kaitsta külgseina söövitamise eest, kuid allapoole söövitamiseks peame altpoolt passiveerimiskihi eemaldama. Seetõttu tutvustatakse SF6 gaasi sel ajal, et rünnata põhjas passiivsuskihti. Pärast seda, kui põhjal olev passiveerimiskiht kaob, jätkab SF6 räni söövitamist ja tsükkel kordab end nagu lõputu silmus.
Ühekordne Sf6 väävelheksafluoriidi tehas Hiinas
Saatke meile päring väävli heksafluoriidi SF6 gaasi kohta!
Pakume teie ostuvajaduste rahuldamiseks kvaliteetset SF6 gaasi ja teenuseid.
Saatke päring kohe
